真空计：用于测量真空度，检测范围通常在 10^-1 Pa 至 10^-9 Pa 之间。
检漏仪：用于检测真空泵的泄漏情况，检测范围根据不同的检漏仪型号和应用而有所不同。
压力传感器：用于测量真空泵的入口和出口压力，检测范围通常在 0 至 1000 Pa 之间。
温度计：用于测量真空泵的温度，检测范围通常在-50℃至 200℃之间。
功率计：用于测量真空泵的功率消耗，检测范围通常在 0 至 1000 W 之间。
振动分析仪：用于检测真空泵的振动情况，检测范围根据不同的振动分析仪型号和应用而有所不同。
