扫描电子显微镜（SEM）：用于观察微纳器件的表面形貌、尺寸和结构。
原子力显微镜（AFM）：可测量微纳器件的表面粗糙度、形貌和力学性能。
X 射线衍射仪（XRD）：分析微纳器件的晶体结构和相组成。
拉曼光谱仪：用于检测微纳器件中的分子结构和化学键。
光学显微镜：可观察微纳器件的整体结构和形态。
电子束曝光系统：用于制备微纳器件的图案和结构。
四探针测试仪：测量微纳器件的电阻率和电导率。
霍尔效应测试仪：测定微纳器件的载流子浓度和迁移率。
热重分析仪（TGA）：分析微纳器件的热稳定性和成分变化。
差示扫描量热仪（DSC）：研究微纳器件的热性能和相变。
