微量雾化检测通常使用以下仪器：
1. 雾化器：将液体样品转化为微小的雾滴。
2. 激光粒度分析仪：测量雾滴的粒径分布。
3. 浓度检测仪：检测雾滴中物质的浓度。
4. 光学显微镜：观察雾滴的形态和大小。
5. 电子显微镜：提供更详细的雾滴结构信息。
6. 气体分析仪：检测雾滴中的气体成分。
7. 湿度计：测量环境湿度对雾化的影响。
8. 流量计：控制雾化气体的流量。
9. 压力计：监测雾化过程中的压力变化。
10. 数据采集系统：记录和分析检测数据。
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