X 射线衍射仪：用于分析外延结的晶体结构和晶格参数。
扫描电子显微镜：可以观察外延结的表面形貌和微观结构。
原子力显微镜：用于测量外延结的表面粗糙度和形貌。
四点探针：用于测量外延结的电阻率。
霍尔效应测试仪：可以测量外延结的载流子浓度和迁移率。
光致发光谱仪：用于研究外延结的光学性质和发光特性。
拉曼光谱仪：可以分析外延结的分子结构和化学键。
电容-电压测试仪：用于测量外延结的电容和电压特性。
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中析研究所
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