原子力显微镜：用于测量外延淀积薄膜的表面形貌和粗糙度。
X 射线衍射仪：可分析外延淀积薄膜的晶体结构和取向。
扫描电子显微镜：用于观察外延淀积薄膜的表面形貌和微观结构。
椭圆偏振仪：可测量外延淀积薄膜的厚度和光学常数。
拉曼光谱仪：用于分析外延淀积薄膜的化学成分和结构。
霍尔效应测试仪：可测量外延淀积薄膜的电学性质，如载流子浓度和迁移率。
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中析研究所
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