轮廓仪：用于测量物体表面的轮廓形状，包括凸度和凹度。它可以提供高精度的三维轮廓数据。
激光干涉仪：通过测量激光干涉条纹的变化来确定物体表面的形状，可用于检测凸度和凹度。
三坐标测量机：能够精确测量物体的三维坐标，可用于检测凸度和凹度的尺寸和形状。
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中析研究所
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