真空处理钢检测通常使用以下仪器：
1. 金相显微镜：用于观察真空处理钢的金相组织结构，分析晶粒尺寸、相含量等。
2. 扫描电子显微镜（SEM）：通过扫描针对样品的表面进行电子束扫描，获取高分辨率的图像，可用于观察真空处理钢的表面形貌、晶粒形貌等。
3. 能谱仪：用于分析真空处理钢样品中元素组成，可以确定元素相对含量、杂质元素含量等。
4. 压力测量仪：用于测量真空处理过程中的气体压力，确保设备在适当的真空度下工作。
5. 硬度计：用于测试真空处理钢的硬度，可以通过测量钢材的压痕深度或表面硬度来评估其机械性能。
6. 热分析仪：用于研究真空处理钢的热性能，如热稳定性、热膨胀系数等。
