真空回火检测主要用于金属材料的热处理过程中，以检测回火效果是否达到要求。以下是常用的仪器：
1. 真空炉：用于创建高真空环境，对待检测材料进行回火处理。
2. 温度计：用于测量回火过程中的温度变化，以确保回火温度控制准确。
3. 真空度测试仪：用于测量真空炉内的真空度，以确保真空环境的高度。
4. 金属组织分析仪：用于对回火后的样品进行金相组织分析，以评估回火效果。
5. 硬度计：用于测量回火后的样品硬度，以验证回火效果是否符合要求。
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