真空度负压检测通常使用真空计进行测量，常见的仪器有：
1. 热阴极离子化真空计：通过测量阴极上的一小部分材料发射的电子数来计算真空度。
2. 焦耳效应离子化真空计：使用电磁铁制造的磁场，通过测量磁场中离子的运动来计算真空度。
3. 摄气量计：通过测量真空室内的气体摄入量来计算真空度。
4. 带压式负压计：通过测量被测介质在真空状态下的压力来计算真空度。
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