四探针测试仪：用于测量薄膜的方块电阻。
霍尔效应测试仪：用于测量薄膜的电导率和霍尔系数。
分光光度计：用于测量薄膜的透光率和吸收光谱。
X 射线衍射仪：用于分析薄膜的晶体结构。
扫描电子显微镜：用于观察薄膜的表面形貌和微观结构。
热重分析仪：用于分析薄膜的热稳定性。
差示扫描量热仪：用于分析薄膜的玻璃化转变温度和结晶度。
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中析研究所
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