真空计：用于测量真空度。
压力传感器：检测真空泵的输出压力。
流量计：测量气体流量。
转速表：检测真空泵的转速。
温度计：测量真空泵的温度。
噪声计：测试真空泵的噪声水平。
示波器：分析真空泵的电信号。
功率计：测量真空泵的功率消耗。
振动分析仪：检测真空泵的振动情况。
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中析研究所
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