微分电容扩散结检测通常使用电容-电压（C-V）测试仪。
C-V 测试仪是一种用于测量半导体器件电容与电压关系的仪器。它可以提供关于半导体材料的掺杂浓度、结深、界面态密度等信息。
在微分电容扩散结检测中，C-V 测试仪通过施加不同的电压并测量相应的电容值，来绘制出电容-电压曲线。
该曲线可以用于分析扩散结的特性，例如结电容、耗尽层宽度等。
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