外延缺陷检测可以使用多种仪器，以下是一些常见的仪器：
1. 光学显微镜：用于观察外延层表面的缺陷，如位错、堆垛层错等。
2. 扫描电子显微镜（SEM）：可以提供更高分辨率的图像，用于检测外延层中的微观缺陷。
3. 原子力显微镜（AFM）：用于测量外延层表面的形貌和粗糙度。
4. 光致发光谱仪（PL）：通过测量外延层的发光特性来检测缺陷。
5. X 射线衍射仪（XRD）：用于分析外延层的晶体结构和缺陷。
6. 二次离子质谱仪（SIMS）：可以分析外延层中的杂质分布。
7. 霍尔效应测试仪：用于测量外延层的电学性能，间接反映缺陷情况。
8. 电容-电压测试仪：用于测量外延层的电容-电压特性，评估缺陷对电学性能的影响。
