X 射线衍射仪：用于分析晶体结构和外延层与底层界面的结晶质量。
扫描电子显微镜（SEM）：可以观察外延层与底层界面的微观结构和形貌。
原子力显微镜（AFM）：用于测量外延层与底层界面的表面粗糙度和形貌。
拉曼光谱仪：可用于分析外延层与底层界面的化学键和晶体结构。
光致发光谱仪：用于检测外延层与底层界面的发光特性。
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中析研究所
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