微光学检测是对微小光学元件和系统进行的检测，旨在确保其性能、质量和可靠性。
表面形貌检测：使用显微镜、原子力显微镜等工具观察微光学元件的表面粗糙度、平整度等。
尺寸测量：精确测量微光学元件的尺寸，如直径、厚度等。
光学性能检测：包括透过率、反射率、折射率等的测量。
焦距测量：确定微光学元件的焦距。
像差检测：检测微光学系统中的像差，如球差、彗差等。
分辨率检测：评估微光学系统的分辨率能力。
波前检测：测量光波前的形状和质量。
偏振特性检测：确定微光学元件的偏振特性。
光谱特性检测：分析微光学元件在不同波长下的性能。
散射特性检测：检测微光学元件的散射情况。
环境适应性检测：评估微光学元件在不同环境条件下的性能稳定性。
可靠性检测：进行加速寿命测试等，以确定微光学元件的可靠性。
热稳定性检测：检测微光学元件在高温环境下的性能变化。
湿度稳定性检测：评估微光学元件在高湿度环境下的性能稳定性。
机械稳定性检测：测试微光学元件在机械振动和冲击下的性能。
表面缺陷检测：查找微光学元件表面的缺陷，如划痕、污点等。
镀膜质量检测：检测微光学元件表面镀膜的均匀性和质量。
封装质量检测：评估微光学元件封装的密封性和可靠性。
光学系统性能检测：对整个微光学系统进行综合性能测试。
激光损伤阈值检测：确定微光学元件对激光的耐受能力。
光学调制特性检测：分析微光学元件对光信号的调制能力。
光学延迟检测：测量微光学元件引起的光信号延迟。
光学串扰检测：检测微光学系统中的光学串扰情况。
光学噪声检测：评估微光学系统中的噪声水平。
光学对比度检测：测量微光学系统的对比度。
光学灵敏度检测：确定微光学系统的灵敏度。
光学动态范围检测：评估微光学系统的动态范围。
光学响应时间检测：测量微光学系统的响应时间。
