真空吸垫检测可以使用以下仪器：
1. 真空泵：用于产生负压，将吸垫与被吸附物表面形成真空。常见的真空泵有机械泵、分子泵等。
2. 压力计：用于测量真空泵产生的负压大小。常见的压力计有罗特式压力计、霍尔式压力计等。
3. 气压表：用于测量吸垫上的气压大小，判断是否存在漏气现象。常见的气压表有数字式气压表、压力差式气压表等。
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