真空渗碳检测是一种用来验证金属材料表面硬度和薄层化学成分的测试方法，常用于检测工件表面的渗碳深度和碳的分布情况。
常见的用于真空渗碳检测的仪器有：
1. 硬度计：用于测量金属材料的硬度值，常见的有洛氏硬度计、维氏硬度计等。
2. 金相显微镜：用来观察被检材料的显微组织和相态，通常配备有高倍率放大功能。
3. 光谱仪：用于分析材料表面的化学成分，常见的有光电子能谱仪（XPS）和能谱仪等。
4. 扫描电镜：用来观察材料表面的形貌和微观结构，可以得到高分辨率的图像。
5. 刻度计：用于测量渗碳深度，可以精确测量金属材料表面被渗碳后的厚度。
6. 超声波探伤仪：用于检测材料的内部缺陷和异物，可以发现隐性缺陷。
7. 化学分析仪：用于检测材料中碳含量和其他化学元素的含量，常见的有碳硫分析仪和光谱分析仪等。
