1. 光学投影仪：光学投影仪是一种常用于检测工件表面形貌和位置偏差的仪器。它通过投射光线在工件上形成放大的影像，从而可以直观地观察和测量工件的位错情况。
2. 三坐标测量仪：三坐标测量仪是一种高精度的测量仪器，可以对工件的各个点进行精确的三维测量。通过将工件放置于测量平台上，三坐标测量仪可以检测工件的位置偏差，包括平行度、垂直度、圆度等。
3. 激光干涉仪：激光干涉仪是一种用于测量工件表面形貌的仪器。它通过将激光束反射到工件表面，然后测量被反射激光束与入射激光束之间的相位差，从而获取工件表面的位错信息。
4. 夹具：夹具是一种用于固定工件并使其与测量仪器配合的设备。通过夹具的使用，可以确保工件在测量过程中保持稳定的位置，以提高测量的准确性和重复性。
