蒸发镀覆检测主要用于检测材料表面的镀覆层的厚度和成分，常用仪器包括：
1. 蒸发镀层厚度测量仪：用于测量薄膜的厚度，通常使用台式或便携式设备，采用非接触式测量原理。
2. X射线衍射仪（XRD）：用于分析镀覆层的成分和结晶性质，通过测量材料中的X射线衍射图谱来确定物质的组成。
3. 扫描电子显微镜（SEM）：用于观察和分析材料表面和界面的形貌和微观结构，可以观察到镀覆层的厚度、粗糙度以及可能存在的缺陷。
4. 薄膜成分分析仪：用于分析镀覆层的成分，常见的有能量色散X射线光谱仪（EDX）和光电子能谱仪（XPS）。
