1. 真空计：用于测量真空系统中的压力。常见的真空计包括电子式热阴极真空计、破普真空计、毛细流真空计等。
2. 气体分析仪：用于检测真空系统中气体成分的检测仪器。常见的气体分析仪有质谱仪、红外气体分析仪、气体色谱仪等。
3. 油析仪：用于检测真空系统中油品的成分和性质，以及判定油品是否受污染。常见的油析仪有油中含水分析仪、油中气体分析仪、油中杂质分析仪等。
4. 渗漏检测仪：用于检测真空系统中的泄漏点，以判断系统是否存在漏气现象。常见的渗漏检测仪有氦质谱漏气仪、激光测量仪等。
5. 温度计：用于测量真空系统中的温度变化。常见的温度计有热电偶、温度传感器等。
