预抽真空室检测通常会用到以下仪器：
1. 真空泵：用于抽取真空室中的空气，以创建低压环境。
2. 压力传感器：监测真空室中的气体压力，以确定是否达到预期的真空度。
3. 气体分析仪：用于分析真空室中的气体成分，以确定是否存在不合格物质。
4. 真空度检测仪：用于测量真空室的真空度，常用的方法包括冷阴极、热阴极和静态电子检测等。
5. 温度计：用于测量真空室中的温度，以确定是否符合要求。
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中析研究所
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