1. 红外光谱仪：用于分析锗组件的红外光谱特性，包括吸收谱、透射谱等。
2. X射线衍射仪：通过射线与锗组件相互作用，得到反射或散射的衍射图样，用于分析锗组件的晶体结构。
3. 热导率仪：用于测量锗组件的热导率，进一步了解其热传导性能。
4. 电子显微镜：通过观察锗组件的表面和内部微观结构，可以检测缺陷、杂质等。
5. 电子束辐照仪：用于模拟锗组件在辐射环境下的表现，检测其辐射抗性。
6. 真空腔压力测试仪：检测锗组件所在真空腔内的压力情况，以及真空腔密封性能。
7. 差示扫描量热仪：用于测量锗组件在变温过程中的热功率变化，以及热稳定性。
