原子力显微镜：用于检测半导体表面的形貌和结构。
X 射线衍射仪：可分析半导体的晶体结构和晶格参数。
霍尔效应测试仪：测量半导体的电学性质，如载流子浓度和迁移率。
分光光度计：用于检测半导体的光学性质，如吸收光谱和发射光谱。
扫描电子显微镜：观察半导体的微观结构和表面形貌。
能量色散 X 射线光谱仪：分析半导体中的元素成分。
四探针测试仪：测量半导体的电阻率。
荧光光谱仪：检测半导体的荧光特性。
拉曼光谱仪：分析半导体的分子结构和化学键。
热重分析仪：研究半导体的热稳定性和热分解过程。
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