三坐标测量仪：用于测量微型机械手的尺寸、形状和位置精度。
力学性能测试机：测试微型机械手的力学性能，如拉伸、压缩、弯曲等。
光学显微镜：观察微型机械手的表面形貌和微观结构。
电子显微镜：提供更高分辨率的微观结构观察。
硬度计：测量微型机械手的硬度。
无损检测设备：如超声波检测仪、X 射线检测仪等，用于检测微型机械手内部的缺陷。
传感器测试系统：测试微型机械手上的传感器性能。
运动性能测试系统：评估微型机械手的运动速度、精度和重复性。
环境试验箱：模拟不同环境条件下微型机械手的性能。
可靠性测试设备：进行寿命、疲劳等可靠性测试。
