三坐标测量仪：用于测量微动装置的尺寸、形状和位置精度。
激光干涉仪：用于测量微动装置的位移和运动精度。
硬度计：用于测量微动装置的硬度。
表面粗糙度仪：用于测量微动装置的表面粗糙度。
显微镜：用于观察微动装置的微观结构和表面形貌。
拉力试验机：用于测量微动装置的拉伸强度和断裂伸长率。
疲劳试验机：用于测量微动装置的疲劳寿命。
冲击试验机：用于测量微动装置的冲击强度。
振动试验机：用于测量微动装置的振动特性。
热分析仪：用于测量微动装置的热稳定性和热膨胀系数。
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