外延气相生长检测通常包括以下项目：
薄膜厚度测量：使用干涉仪、轮廓仪等设备测量外延层的厚度。
成分分析：通过 X 射线衍射、俄歇电子能谱等技术分析外延层的化学成分。
晶体结构分析：利用 X 射线衍射、电子衍射等方法研究外延层的晶体结构。
表面形貌观察：使用扫描电子显微镜、原子力显微镜等观察外延层的表面形貌。
电学性能测试：测量外延层的电阻率、载流子浓度等电学参数。
光学性能测试：测定外延层的吸收系数、折射率等光学特性。
杂质含量检测：检测外延层中的杂质元素及其含量。
缺陷检测：如位错、晶界等缺陷的检测。
应力测试：评估外延层中的应力分布情况。
均匀性测试：检查外延层在整个样品上的均匀性。
热稳定性测试：考察外延层在高温环境下的稳定性。
化学稳定性测试：研究外延层对化学物质的抵抗能力。
生长速率测量：确定外延层的生长速度。
界面特性分析：研究外延层与衬底之间的界面特性。
结晶质量评估：评估外延层的结晶质量。
量子效率测试：对于光电器件，测量外延层的量子效率。
发光性能测试：检测外延层的发光强度、波长等参数。
载流子迁移率测试：测定外延层中载流子的迁移率。
热导率测试：测量外延层的热导率。
硬度测试：评估外延层的硬度。
弹性模量测试：确定外延层的弹性模量。
热膨胀系数测试：测量外延层的热膨胀系数。
表面粗糙度测试：检测外延层的表面粗糙度。
附着力测试：评估外延层与衬底之间的附着力。
耐腐蚀性测试：研究外延层的耐腐蚀性能。
封装性能测试：对于封装后的外延器件，进行相关性能测试。
可靠性测试：评估外延器件在长期使用中的可靠性。
环境适应性测试：考察外延器件在不同环境条件下的性能表现。
失效分析：对外延器件的失效原因进行分析。
