真空闪蒸检测是一种常用的表面处理质量检测方法，主要用于检测物体表面的含杂质情况。以下是常见的用于真空闪蒸检测的仪器：
1. 真空闪蒸设备：用于将被检测物体放在真空环境中，并通过闪蒸加热的方式将杂质蒸发掉。
2. 气体质谱仪：用于分析检测物体蒸发出的气体中的成分，可以通过质谱图来判断杂质的种类和含量。
3. 红外光谱仪：用于检测物体表面的化学成分，可以通过红外光谱图来确定表面是否含有有机物。
4. 电子显微镜：用于观察被检测物体表面的形貌和结构，可以通过高分辨率图像来判断表面的洁净度。
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