1. 反射式红外光谱仪：用于测量光刻胶的化学成分和分析其中的有机化合物。
2. 热分析仪：可用于测量光刻胶的热稳定性、热分解温度和热物性。
3. 扫描电子显微镜（SEM）：用于观察光刻胶的表面形貌、膜厚和纹理等。
4. 显微拉曼光谱仪：可以分析光刻胶的分子结构、晶体结构和化学键信息。
5. 粒度分析仪：用于测量光刻胶中颗粒的粒径分布和平均粒径。
6. 红外显微镜：可用于检测光刻胶中的颗粒污染，以及红外吸收谱图的检测。
7. 光学薄膜测量仪：可用于测量光刻胶薄膜的透过率、反射率和折射率等光学参数。
8. 激光粒度仪：可用于测量光刻胶分散液中颗粒的粒径分布和粒子浓度。
