电子显微镜（SEM）：用于观察和分析材料表面的微观结构，可以检测材料表面的障碍物和清除效果。
扫描电子显微镜（SEM）：用电子束扫描样品表面，产生二维或三维的高分辨率图像，用于观察和分析材料的表面形貌和结构。
荧光显微镜：可以观察荧光标记的样品，并用于观察障阻清除后是否存在残留物。
红外光谱仪（IR）：用于检测材料中分子的振动和转动模式，可以判断材料的组成以及障阻的清除情况。
拉曼光谱仪：通过激光激发样品，分析样品散射的光谱信息，可以用于检测材料的化学成分和障阻清除情况。
X射线衍射仪（XRD）：用于分析材料的晶体结构和晶体状态，可检测材料中的晶体障阻是否清除。
电子探针（EPMA）：通过电子束击打样品，测量样品返回的X射线谱，用于分析样品的成分和障阻清除情况。
原子力显微镜（AFM）：通过测量样品表面的原子力变化，生成样品表面形貌的高分辨率图像，用于观察和分析障碍物的清除情况。
