尘埃粒子计数器：用于检测空气中的尘埃粒子数量和大小分布。
风速仪：测量风速和风量，以确保无尘操作区域的空气流动符合要求。
压差计：检测无尘操作区域与相邻区域之间的压差，确保空气流向正确。
浮游菌采样器：采集空气中的浮游菌，评估无菌环境的质量。
表面粒子计数器：检测物体表面的尘埃粒子数量，以确保操作区域的清洁度。
静电测试仪：测量静电水平，防止静电对无尘操作产生影响。
照度计：检测照明强度，确保操作区域有足够的光线。
温湿度计：监测温度和湿度，以维持适宜的操作环境。
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中析研究所
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