位移传感器：用于测量物体的位移变化，常见的有线性位移传感器和旋转位移传感器。
激光干涉仪：通过激光干涉原理测量物体的位移，具有高精度和高分辨率。
电容位移传感器：利用电容变化来测量位移，适用于微小位移的测量。
电感位移传感器：基于电感变化测量位移，常用于工业自动化领域。
光栅尺：通过光栅的光学原理测量位移，具有较高的精度和稳定性。
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中析研究所
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