激光干涉仪：用于测量长度、角度、直线度等微小位移和变形，精度可达纳米级。
扫描电子显微镜（SEM）：可以观察微小物体的表面形貌和结构，分辨率可达纳米级。
原子力显微镜（AFM）：用于测量微小物体的表面形貌、粗糙度和力学性质，分辨率可达原子级。
X 射线衍射仪（XRD）：用于分析材料的晶体结构和相组成，可检测到微小的晶体结构变化。
透射电子显微镜（TEM）：可以观察微小物体的内部结构和组织，分辨率可达纳米级。
纳米压痕仪：用于测量材料的硬度和弹性模量等力学性质，可检测到微小的力学性能变化。
表面轮廓仪：用于测量物体表面的轮廓和粗糙度，分辨率可达纳米级。
白光干涉仪：用于测量物体表面的三维形貌和粗糙度，精度可达纳米级。
共聚焦显微镜：可以对微小物体进行三维成像和分析，分辨率可达微米级。
