外延生长检测通常会用到以下仪器：
1. 光学显微镜：用于观察外延层的表面形貌和晶体结构。
2. X 射线衍射仪：用于分析外延层的晶体结构和取向。
3. 扫描电子显微镜：用于观察外延层的表面形貌和微观结构。
4. 原子力显微镜：用于测量外延层的表面粗糙度和微观形貌。
5. 拉曼光谱仪：用于分析外延层的化学成分和结构。
6. 光致发光谱仪：用于测量外延层的发光性能和缺陷密度。
7. 霍尔效应测试仪：用于测量外延层的电学性能，如载流子浓度和迁移率。
8. 电容-电压测试仪：用于测量外延层的电学性能，如电容和电压。
9. 四探针测试仪：用于测量外延层的电阻率和方块电阻。
10. 热重分析测试仪：用于分析外延层的热稳定性和成分。
