外延片检测需要用到多种仪器，以下是一些常见的仪器：
1. **X 射线衍射仪（XRD）**：用于分析外延片的晶体结构和晶格参数。
2. **扫描电子显微镜（SEM）**：可以观察外延片的表面形貌和微观结构。
3. **原子力显微镜（AFM）**：用于测量外延片表面的粗糙度和形貌。
4. **光致发光谱仪（PL）**：可以检测外延片的发光性能和光学特性。
5. **霍尔效应测试仪**：用于测量外延片的电学性能，如载流子浓度和迁移率。
6. **分光光度计**：可用于测量外延片的吸收光谱和透过率。
7. **四探针测试仪**：用于测量外延片的电阻率。
8. **椭圆偏振仪**：可用于测量外延片的薄膜厚度和光学常数。
9. **拉曼光谱仪**：用于分析外延片的分子结构和化学键。
10. **X 射线荧光光谱仪（XRF）**：可用于检测外延片中的元素成分。
