真空处理坑检测用到的仪器包括：
1. 真空度计：用于测量真空处理坑中的真空度。常见的真空度计有热阴极离子化真空计、热阴极宇宙真空计、磁控溅射离子化真空计等。
2. 气体质谱仪：用于分析真空处理坑中的气体成分。气体质谱仪可以通过质谱图来确定气体的种类和相对含量。
3. 漏气检测仪：用于检测真空处理坑的气密性。漏气检测仪可以通过监测气体泄漏的速率来确定真空处理坑是否有漏气现象。
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