真空计压力检测-检测方法
真空计压力检测是一种用于测量真空系统压力的方法。下面是一些常用的真空计压力检测方法:
1. 热电离检漏器法(Helium Mass Spectrometer Leak Detection):采用氦气作为工作气体,通过检测泄漏气体中的离子质谱来检测真空系统的泄漏情况。
2. 热阴极离子化真空计法(Hot Cathode Ionization Vacuum Gauge):利用热阴极电离气体分子,通过测量电离气体离子电流来确定真空系统的压力。
3. 机械弹簧压力表法(Mechanical Spring Pressure Gauge):利用弹簧的变形量来测量真空系统的压力,常用的有弹簧压力计和弹簧管压力计。
4. 电子束蒸发计法(Electron Beam Evaporation Gauge):通过测量一束电子被蒸发物质散射后的电离程度,进而确定真空系统的压力。
5. 气体比例计法(Gas Mass Flow Meter):利用气体在一定条件下的流速与压力的关系,测量气体流量,从而推测真空系统的压力。
6. 质子导纳真空计法(Proton Conductance Vacuum Gauge):基于质子传导性能的真空计,通过测量质子传导率来确定真空系统的压力。