以下是常用于正火回火处理检测的仪器：
1. 硬度测试仪：用于测量材料硬度，例如洛氏硬度计、布氏硬度计等。
2. 金相显微镜：用于观察和分析材料的晶体结构和显微组织。
3. 金相切割机和磨削机：用于制备金相样品，便于金相显微镜观察。
4. X射线荧光光谱仪（XRF）：用于分析材料的化学成分和元素含量。
5. 扫描电子显微镜（SEM）：用于观察材料的表面形貌和微观结构。
6. 微硬度测试仪：用于测量材料的小区域硬度，常用的方法包括显微硬度计和纳米压痕仪。
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