真空退火炉是一种用来在无气氛或低气氛环境下对材料进行热处理的设备。它主要用于改善材料的结构和性能，如去除应力、提高硬度、改善耐腐蚀性等。
真空退火炉的主要检测设备包括：
1. 真空计：用来测量真空炉内的气压，常见的有热阴极离子化真空计和热阴极离子化式广谱真空计。
2. 温度控制仪：用来精确控制真空炉的温度，通常采用PID控制算法。
3. 热电偶或红外温度计：用来实时监测材料的温度。
4. 真空泵：用来抽取真空炉内的气体，常见的有机械泵、分子泵、罗茨泵等。
5. 气体探测仪：用来检测真空炉内的气体成分和浓度，常见的有气相色谱仪、质谱仪等。
