真空驱气检测是一种用于检测封闭系统中是否存在气体或杂质的实验方法，常用于航空航天、化工、电子、医药等领域。
常用的仪器和设备包括：
1. 真空泵：用于抽取封闭系统中的气体，创建真空环境。
2. 流量计：用于测量气体抽取速率，以确保真空驱气过程的稳定性。
3. 压力传感器：用于测量真空系统中的压力变化，判断真空度是否达到要求。
4. 气体分析仪：用于分析封闭系统中的气体成分和浓度，检测是否存在特定的杂质。
5. 漏气检测仪：用于检测封闭系统是否存在漏气点，确保系统密封性。
6. 温度计：用于测量真空系统的温度变化，以对实验过程进行监控和控制。
7. 数据记录仪：用于记录和保存真空驱气过程中的数据，以便后续分析和报告。
