真空度检测仪器：真空度测试仪
真空度测试仪是一种用于测量真空环境中的气体含量和压力的仪器。它通常通过测量气体的流量、压力和温度来确定真空环境的质量。这种仪器可以用于检测各种真空系统，如真空管、真空设备和真空槽等。
漏气检测仪器：漏气检测仪
漏气检测仪是一种用于检测真空系统中漏气情况的仪器。它通过注入一种特定气体或液体到真空系统中，然后测量系统内的漏气率来判断真空系统的密封性能。漏气检测仪广泛应用于真空设备、制冷设备和工业管道等领域。
电子显微镜：透射电子显微镜（TEM）和扫描电子显微镜（SEM）
透射电子显微镜（TEM）和扫描电子显微镜（SEM）是常用的真空间检测仪器。它们通过使用高能电子束照射样品并观察电子束与样品相互作用产生的信号来获得样品的微观结构、成分和表面形貌等信息。透射电子显微镜主要用于观察纳米尺度的样品，而扫描电子显微镜则适用于观察表面形貌和微观结构。
