真空系统严密性检测-检测方法
对于真空系统的严密性检测,一般可以采取以下几种方法:
1. 气体检测法:通过向真空系统中注入气体,然后使用气体检漏仪等设备检测系统中是否有气体泄漏情况。
2. 真空度检测法:使用真空度测量仪器,如压力计、真空计等,对真空系统内部的真空度进行检测,从而判断系统是否有泄漏。
3. 氦气检测法:将氦气注入真空系统中,利用氦气检漏仪测量系统周围是否有氦气泄漏的现象,以确定系统的严密性。
4. 密封性试验法:通过将真空系统封闭或关闭到一定的工作压力,经过一段时间后观察压力的变化情况,判断系统是否有泄漏。
5. 真空泡水法:将真空系统浸入水中,观察是否有气泡产生,以确定系统是否有泄漏。
6. 热导法:通过在真空系统内部加热一个小区域,然后观察周围其他区域的温度变化,判断系统是否存在泄漏。