真空度检测：
通过真空表或真空计测量真空度。
泄露率检测：
使用泄漏检测仪器，对真空处理设备进行泄露率检测。
气体成分检测：
采用气相色谱仪、质谱仪等仪器，对真空处理设备中的气体成分进行分析。
压力检测：
使用压力计或压力传感器对真空处理设备的压力进行检测和监控。
温度检测：
采用温度传感器或红外测温仪等仪器，对真空处理设备的温度进行测量。
功率检测：
使用功率仪或电能表等仪器，对真空处理设备的功率进行检测和监控。
漏电流检测：
采用漏电流检测仪器，对真空处理设备的漏电流进行检测。
振动检测：
使用振动传感器或振动测量仪等仪器，对真空处理设备的振动情况进行检测和分析。
噪声检测：
使用声级计或噪声分析仪等仪器，对真空处理设备产生的噪声进行检测和分析。
