真空严密度检测可以使用以下仪器：
1. 真空度测试仪：用于测量封闭容器内的真空度，常用的类型有电离真空计、热阴极离子计等。
2. 气体检漏仪：可以检测容器的密封性能，常用的类型有负压检漏仪、氦气检漏仪等。
3. 压力负荷试验台：用于施加压力负荷来检测容器的密封性能，可以通过观察压力变化来判断是否存在泄漏。
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中析研究所
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