真空增强器检测通常需要使用以下仪器：
1. 真空度测试仪：用于测量真空系统的真空度，常见的测试方法包括热阴极离子化真空计、热阴极临界孔真空计等。
2. 气体质量分析仪：用于分析真空中的气体成分和含量，常见的分析方法包括质谱法、红外光谱法等。
3. 运行状态监测仪：用于监测真空增强器的运行状态和性能指标，常见的监测参数包括功率输出、频率稳定性等。
4. 高压测试仪：用于检测真空增强器的高压输出性能，常见的测试参数包括输出电压、输出电流等。
5. 高频分析仪：用于分析真空增强器的高频特性，常见的分析方法包括频谱分析、网络分析等。
