真空脱气设备是一种用于将物体内的气体抽取出来，使其处于真空状态的设备。在检测真空脱气设备的性能和效果时，常用到以下仪器：
1. 真空度测量仪器：用于测量设备内部的真空度，常见的有真空度表和真空度计。
2. 抽气速率测量仪器：用于测量设备的抽气速率，常见的有抽气速率计。
3. 故障诊断仪器：用于检测设备的故障和问题，常见的有隔膜式真空泵漏气检测仪。
4. 运行状态监测仪器：用于监测设备的运行状态和性能，常见的有温度传感器和压力传感器。
5. 气体分析仪器：用于分析设备内部的气体成分和浓度，常见的有气体分析仪。
