蒸发盘检测是一种常见的表面缺陷检测方法，用于检测零件表面的裂纹、孔洞、漏底等缺陷。以下是常用的仪器和设备：
1. 蒸发盘：用于接收被检材料的蒸发物，一般由透明玻璃材料制成。
2. 热源：提供热量以使被检材料蒸发并沉积到蒸发盘上。常见的热源有火焰、电热丝、电炉等。
3. 检测台：放置被检材料和蒸发盘的台面，可以配备调节装置，以调整检测台与蒸发盘的相对位置。
4. 显微镜：用于观察蒸发盘上的缺陷，通常配备放大倍率可调节的物镜。
5. 光源：提供光线照射被检材料和蒸发盘，以便观察缺陷的形貌和位置。常用的光源有白光源、荧光源等。
6. 显微镜台：支撑和固定显微镜的底座，可以通过调节装置调整显微镜的位置和角度。
7. 记录设备：用于记录观察到的缺陷情况，常用的记录设备有相机、摄像机等。
