真空闸阀检测通常涉及以下仪器：
1. 真空度测试仪：用于测量真空系统的真空度，能够监测真空度的变化情况。
2. 漏率测试仪：用于检测真空闸阀的漏率，可确定其密封性能是否满足要求。
3. 渗透检测仪：用于检测真空闸阀外壳是否有渗漏，可以检测到微小的泄露点。
4. 温度计：用于测量真空闸阀的温度，可以判断真空系统的运行状态。
5. 压力表：用于测量真空闸阀的压力，能够监测真空系统的压力变化。
6. 电流表、电压表：用于检测真空闸阀的电流和电压，可以判断电气系统是否正常。
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