真空驱气检测是一种用于检测真空系统中存在的气体或杂质的方法，常用于航空航天、电子、制药等行业。以下是一些常用的真空驱气检测方法：
1. 气相检测法：采用可燃气体或者偶联剂等注入真空系统中，通过检测真空系统中是否有泄漏的气体以及其浓度来判断真空系统的密封性。
2. 漏率检测法：通过将真空系统加压后观察其内部的真空度下降速度，来评估系统的密封性。漏率越大，真空度下降越快。
3. 质谱检测法：采用质谱仪对真空系统中的气体进行分析，可以确定气体的种类和浓度，从而判断系统的纯度和是否存在杂质。
4. 压差检测法：通过测量系统的压差变化来评估真空系统的泄漏情况。常用的方法有差压传感器和流量计等。
5. 气体分析法：将真空系统中的气体取出并送入气体分析仪或光谱仪中，通过分析吸收光谱或发射光谱来确定气体的成分。
