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真空本体检测-检测仪器

真空本体检测通常使用以下仪器:

1. 真空度检测仪:用于测量真空本体的真空度。常见的真空度检测仪有悬挂式气体质谱仪、电离规真空计、热翅真空计等。

2. 漏检仪:用于检测真空本体是否存在漏气现象。常见的漏检仪有氦质谱漏检仪、氦鼓泡法漏检仪等。

3. 清洗仪:用于对真空本体进行清洗和除尘。常见的清洗仪有真空级别超声波清洗仪、气相清洗仪等。

真空本体检测-检测仪器
其他检测

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