真空除气检测-检测方法
真空除气检测是一种检测方法,用于验证在真空状态下去除气体的效果。
检测方法如下:
1. 负压检测法:通过测量真空系统内部气压的变化来确认除气的效果。在真空系统中注入气体,然后观察气体压力的下降情况来判断除气程度。 2. 气泡检测法:将真空系统置于水中,通过观察气泡的产生与消失来推断真空系统内部气体的存在与否。 3. 质量光谱法:使用质量光谱仪测量真空系统内部气体组分的种类与浓度,从而判断除气效果。 4. 高频阻抗法:通过测量真空系统内部的电阻、电容等参数,推测气体的存在与否。 5. 恒温法:在真空系统中通过加热或冷却来观察气体的排出情况,从而判断除气效果。 6. 熔融气体法:将气体通过熔融的材料中,观察气体的逸出情况,来判断除气效果。 7. 进气分析法:通过测量真空系统进气口的气体成分和流量来判断除气效果。 8. 真空度测试法:使用真空度测试仪测量真空系统内部的真空度,从而判断除气效果的好坏。